加工定制 | 是 | 类型 | 退火炉 |
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型号 | JFHK | 适用范围 | 本设备主要用于在高温环境下对所加工器件进行扩散、烧结、退火、合金、镀膜等工艺 |
炉膛最高温度 | 1260℃ | 工作温度 | 300-1200℃ |
装载量 | 订制kg | 工作室尺寸 | 订制mm |
外形尺寸 | 订制mm | 别名 | 退火炉 |
设备用途
本设备主要用于在高温环境下对所加工器件进行扩散、烧结、退火、合金、镀膜等工艺。
退火炉整机技术指标
◆ 外形形式:立式单管
◆ 最高工作温度:1260℃
◆ 加热炉管有效口径:Φ240mm,满足6英寸硅片要求
◆ 石英管有效口径:Φ180mm
◆ 等温区长度: 500mm
◆ 控温仪表:原装进口,日本岛电MR13控温仪表
◆ 等温区精度:800℃--1260℃ ±1℃/500mm
◆ 单点温度稳定性:800℃--1260℃ ±1℃
◆ 升温斜变能力:最大可控升温速度:15℃/min
◆ 最大升温功率:20KW/管
◆ 保温功率:10KW/管
◆ 气路系统:一路N2浮子流量计
◆ 电源:三相五线380V、50Hz
◆ 外形尺寸:H1500*W1500*D700
石英器件的技术指标
◆ 内壁波纹高度<0.2mm;
◆ 整体消除应力,长期使用温度1200℃;
◆ 管壁均匀一致,表面及内部不得有划痕、气泡等缺陷;
◆ 杂质含量(Al、Fe、Mg、Cu、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B等十三个杂质元素的总含量≤50×10-6,其中:Fe≤3×10-6 Cu≤0.8×10-6 Na≤2×10-6 K≤2×10-6 Li≤2×10-6 B≤0.3×10-6;
◆ 羟基含量≤220×10-6;
◆ 热稳定性:在1000℃下恒温15分钟,置于20±5℃水中急冷,不出现裂纹、缺口。
◆ 析晶性能:在1400±10℃下恒温6小时,析晶层平均厚度不大于100mm。
退火炉设计和制造标准
◆ 退火炉整机运行平稳、结构牢固、可靠,无爬行、撞击和抖动等异常现象。
◆ 退火炉设计和制造(包含配套件)符合下列国家标准:
安全电压 符合GB3805标准要求
机械设备防护安全 符合GB8196标准要求
漏电保护 符合GB6829标准要求
环境卫生保护 符合GB5083标准要求
线体噪音 符合国家工业设备安装要求